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你或許見過這樣一幕：工廠里，一塊塑料外殼被送進(jìn)一臺(tái)機(jī)器，幾秒鐘后取出來，原本光滑的表面變得容易上色、容易粘合。這臺(tái)機(jī)器就是等離子處理機(jī)。等離子處理機(jī)是什么？等離...
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等離子表面處理機(jī)是什么？簡(jiǎn)單說，它利用電能把空氣或特定氣體變成一種“帶電的云霧”，這種云霧叫等離子體。你把它想象成一把看不見的“分子刷子”，它不碰壞材料，卻能在幾秒鐘內(nèi)改變材料表面的“脾氣”。它的工作原理有點(diǎn)像給氣球摩擦頭發(fā)——但更精細(xì)。設(shè)備內(nèi)部產(chǎn)生高能粒子，這些粒子撞到塑料、玻璃或金屬表面時(shí)，會(huì)打斷材料表面的化學(xué)鍵，同時(shí)接上一些親水基團(tuán)。結(jié)果就是：原本像荷葉一樣拒水、拒膠的表面，變得像海綿一樣容易“沾東西”。同時(shí)，它還能把表面附著的微小油污、脫模劑“轟”走，相當(dāng)于用微觀風(fēng)暴...
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等離子清洗特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型，均可進(jìn)行處理，對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地進(jìn)行超清洗。
圖為PLUTO-T等離子清洗機(jī)對(duì)陶瓷基板上銀氧化層的清洗實(shí)例。
等離子清洗機(jī)可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件表面的光阻材料等。
圖為PLUTO-MD等離子去膠機(jī)對(duì)PCB板和硅片的去膠實(shí)例。
改善粘合力-用于光學(xué)元件、生物醫(yī)學(xué)、封裝領(lǐng)域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強(qiáng)表面粘附性、浸潤(rùn)性、相容性；
圖為PLUTO-M對(duì)線路板、橡膠管和手機(jī)膜的表面改性實(shí)例。
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
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